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文档序号:8227600
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一种玻璃夹具,它涉及太阳能电池硅基薄膜沉积设备。它包括有框架、盖板、挡板、进气孔、排气孔,所述的框架背面安装有盖板,顶部有一排排气孔,底部有一排进气孔,盖板内侧上方焊接有一个挡板,进气孔孔间距均匀,排气孔孔间距由一端向另一端逐渐变小,在镀膜...
该专利属于合肥圣泰光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥圣泰光电科技有限公司授权不得商用。
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