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本实用新型公开了一种适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜设备，该镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、靶位构成，所述导杆卡进传动轮的卡槽内，与靶位连接在一起，靶位采用双面设计，基片架与靶位倾斜适当角度，并以垂直于水平面的箱体的中心轴线为中心...
该专利属于深圳市正星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市正星光电技术有限公司授权不得商用。

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