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一种制造PN结的方法及其PN结技术
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文档序号:8216373
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本发明实施例公开了一种制造PN结的方法,包括:获取基底材料;在基底材料上形成氮化镓层;在氮化镓层上形成第一铝镓氮层,其中铝的含量从靠近氮化镓层的部分到远离氮化镓层的部分线性变化;在第一铝镓氮层上形成第二铝镓氮层,其中铝的含量从靠近第一铝镓氮...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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