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一种五轴差分干涉仪，构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和差分干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45°平面分光镜和3个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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