下载硅片清洗设备以及储液罐的技术资料

文档序号:8209653

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本发明实施例公开了一种储液罐,包括主罐体和显液管,显液管一端开口,另一端与主罐体相连通,显液管与主罐体之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体。上述储液罐中在主罐体和显液管之间设置有可展开的胶囊体,胶囊体将主罐体和显液管分隔...
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