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文档序号:8208766
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本发明提供了一种抛光平台,包括:平台基座;第一凹槽,沿第一方向设置于所述平台基座的上表面上;多个第二凹槽,沿与所述第一方向垂直的第二方向设置于所述平台基座的上表面上;以及侧边凸台,设置于所述第一凹槽一侧,其中所述侧边凸台沿所述第二方向从所述...
该专利属于昆山市大金机械设备厂所有,仅供学习研究参考,未经过昆山市大金机械设备厂授权不得商用。
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