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一种高度可调的倾角式超声振动加工装置制造方法及图纸
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文档序号:8208734
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一种高度可调的倾角式超声振动加工装置,涉及一种光电产业与半导体产业硬脆性材料加工装置。提供一种固定磨粒超声椭圆振动的角度与高度可调,可提高加工效率的一种高度可调的倾角式超声振动加工装置。氧化铈固结磨料砂轮与应变片式压力传感器粘贴在超声振子的...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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