下载一种磷酸用喷头清洗装置及其控制方法的技术资料

文档序号:8208196

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本发明公开了一种磷酸用喷头清洗装置及其控制方法,设备包括清洗液供给装置、喷头清洗装置和清洗液循环装置,采用该磷酸装置用喷头清洗装置及其控制方法为自动控制技术和超声波清洗技术,通过人工设定清洗功率和清洗时间,设定结束后运行程序;程序能自动检测...
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