下载高精度气体流量自动调节装置及比表面积及孔径分析仪的技术资料

文档序号:8203190

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本实用新型公开了一种高精度气体流量自动调节装置及比表面积及孔径分析仪,包括:与气源连通的进气管路,进气管路上设置有高精度机械阀,高精度机械阀的输出端连接到气体流量被控管路,高精度机械阀的控制端连接到电机;高精度气体流量自动调节装置还包括控制...
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