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一种具有叠加热场结构的晶体生长炉制造技术
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文档序号:8199574
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本实用新型公开了一种具有叠加热场结构的晶体生长炉,包括坩埚和主加热器,所述坩埚顶部设有盖屏,底部通过支撑柱固定在腔体上,所述主加热器设在坩埚的外面,所述坩埚和主加热器外设有隔热屏,其中,所述坩埚的底部还设有辅助加热器。本实用新型提供的具有叠...
该专利属于上海嘉森真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海嘉森真空科技有限公司授权不得商用。
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