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本实用新型涉及一种用于拉制5寸区熔单晶硅加热线圈，包括线圈盘体，此线圈盘体与外侧线圈法兰盘相接，同时，所述线圈盘体外围环绕设置环形线圈水路，此线圈盘体外径设置为130mm-250mm。本实用新型有益效果为：产品单匝加热线圈内径小，可形成腰细...
该专利属于刘剑所有，仅供学习研究参考，未经过刘剑授权不得商用。

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