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本实用新型公开了一种振动陀螺激励罩电极刻蚀平衡调整装置，包括工作平台、夹具、定位基柱和测量系统；测量系统包括三个激光位移传感器和数据处理及显示单元，三个激光位移传感器的光源线与其在激励罩外圆柱面上投影点的切线垂直，其中两个激光位移传感器的光...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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