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本发明总的来说涉及一种表面感测装置，该表面感测装置包括用于测量中空触针的顶端相对于触针载体的位移的光学监测系统。根据本发明，光学监测系统的发光装置以这样的方式构建：使得光束具有至少两个具有给定特性分布的可区分的光特性。光学监测系统还包括光学...
该专利属于莱卡地球系统公开股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过莱卡地球系统公开股份有限公司授权不得商用。

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