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表面处理装置制造方法及图纸
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文档序号:8193777
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表面处理装置具备:阳电极部件和阴电极部件中的一者,其与在外周面具有环状被处理区域的金属制的被处理物电连接;框部件,其具备外周面以及相对于环状被处理区域隔开间隔而对置的非导电性的内周面;非导电性的弹性密封件,其通过密封外周面中夹着环状被处理区...
该专利属于爱信精机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过爱信精机株式会社授权不得商用。
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