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有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8191886
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本发明公开了一种有机层沉积设备、一种有机发光显示装置和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。所述有机层沉积设备包括:静电吸盘,固定地支撑作为沉积目标的基板;沉积单元,包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件,有机层沉积组件用来在...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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