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本发明公开了一种有效提高LED侧面出光的外延结构及其制造方法,其包括采用GaN/AlGaN超晶格结构来替代普通GaN外延层,该半导体外延器件外延层由下往上依次为蓝宝石衬底、缓冲层、N型层、发光层、GaN/AlGaN超晶格和P型层,其中GaN...该专利属于聚灿光电科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚灿光电科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种有效提高LED侧面出光的外延结构及其制造方法,其包括采用GaN/AlGaN超晶格结构来替代普通GaN外延层,该半导体外延器件外延层由下往上依次为蓝宝石衬底、缓冲层、N型层、发光层、GaN/AlGaN超晶格和P型层,其中GaN...