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本发明主要在提供另一种制作硅薄膜太阳能膜层的方法。此发明主要包含power?supply、腔体机台本体、matching?box、机械帮浦、高速帮浦、加热板。由於一般制作硅薄膜主流之制程技术主要以化学气相沈积法(CVD)为主，其缺点在於系统...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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