下载波导芯片和PD阵列耦合的对准装置及利用其对准的方法的技术资料

文档序号:8190433

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本发明提供一种波导芯片和PD阵列耦合的对准方法,采用红外光源照明,使PD阵列通过红外CCD在监视器中清楚成像,然后调节微调架控制波导芯片与PD阵列高度和水平位置,使经波导芯片反射的光斑垂直打在PD光敏面上,从而达到高效耦合;或者通过驱动模块...
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