下载集束式柔性组合探针的技术资料

文档序号:8190342

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本发明公开了一种集束式柔性组合探针,它含有圆柱形的探针体,所述探针体的前端设置有探针孔,该探针孔中固定有探针束,所述探针束由至少两个相互独立的小探针组成,每一所述小探针均由针杆、弹簧和针套构成,其中,所述针杆下端和弹簧套装在所述针套内,并且...
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