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本发明公开了一种三维微驱四电极可置换探头。该探头包括四电极探针座和与其配套的三维微驱四电极底座。本发明在四电极探针座的针尖架螺纹杆底部，采用陶瓷绝缘片隔离的三个铜电极，与针尖架螺纹杆一起分别和内置于三维微驱四电极底座的扫描管内壁的四个电极相...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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