下载多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法的技术资料

文档序号:8187106

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本发明公开一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法,包括以下步骤:a:将石英块料和石英粗颗粒料、第一部分氧化铝球石和高纯水在球磨设备中研磨成中粒径为6-12μm的半成品浆料;b:加入石英细颗粒料和第二部分氧化铝球石,和步骤a中的半成品浆料一起...
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