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一种以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法，将待检测的制造装备运动元部件与石墨烯基准样品承载台进行超精密联动控制联接，通过扫描的石墨烯键长数量表征石墨烯基准样品承载台的运动长度，实时检测石墨烯基准样品承载台运动，从而计算出...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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