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本发明提供一种激光加工机用氮供给装置，该装置能够谋求有效地利用储存在缓冲罐内的氮，能够谋求PSA装置、缓冲罐的小型化，其中，将利用P?SA装置（12）生成的氮利用第1加压机（13）升压并储存于缓冲罐（14）内，在缓冲罐内的压力较高时，自第1...
该专利属于大阳日酸株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大阳日酸株式会社授权不得商用。

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