下载真空腔室电极引出装置的技术资料

文档序号:8182347

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本实用新型提供一种真空腔室电极引出装置,包括引出装置底座、内部电极以及电极固定锁紧帽,底座密封连接于真空腔室的腔室底板的外侧面,内设通孔,通孔中形成有一个台肩;内部电极的两端之间形成有一个上凸肩与一个下凸肩,其腔室引出端从所述底座的通孔中不...
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