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针对现有直写式光刻机镜头的单倍率固定式镜头在调节倍率时需要设计一整套对应不同倍率的隔圈，并且在使用中还需要反复拆卸安装隔圈的弊端，本实用新型提供一种改进结构的用于直写式光刻机的可调倍率镜头，通过改变固定镜筒（1）与移动镜筒（4）之间的相对位...
该专利属于合肥芯硕半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯硕半导体有限公司授权不得商用。

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