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本实用新型涉及一种离子交换制备掩埋光波导用电场辅助装置，该装置包括熔液槽、金属支架和锁紧螺丝，所述的熔液槽设置在金属架内，并通过设置在金属支架侧壁的锁紧螺丝锁定，所述的熔液槽由多片交换容器并联组成。与现有技术相比，本实用新型具有可提高产品质...
该专利属于上海光芯集成光学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海光芯集成光学股份有限公司授权不得商用。

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