下载薄膜式气动执行机构的技术资料

文档序号:8177508

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一种薄膜式气动执行机构,所述膜片上头盖和所述膜片下头盖固定连接形成膜腔,所述膜腔内设有所述膜片和所述膜片板;所述膜片底部紧贴着所述膜片板;所述膜片的边缘处被压紧固定在所述膜片上头盖边缘处和所述膜片下头盖边缘处之间;所述膜片板下面安装所述压缩...
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