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用于多晶炉的可分解式腔体支架制造技术
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下载用于多晶炉的可分解式腔体支架的技术资料
文档序号:8175212
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本实用新型公开了一种用于多晶炉的可分解式腔体支架,包括:复数个用来支撑多晶炉腔体的竖向支撑杆;竖向支撑杆之间设置横向支撑杆;其中,竖向支撑杆与所述横向支撑杆为可拆卸连接。竖向支撑杆与所述横向支撑杆之间设置加强杆。横向支撑杆构成水平框架,所述...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。
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