下载多晶炉水冷管与炉体连接装置的技术资料

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多晶炉水冷管与炉体连接装置属于多晶炉冷却系统中的水冷管与炉体的连接装置;特别涉及在多晶硅铸锭过程中,对电极和炉体各个部件进行冷却的用于控制腔体温度的水冷却连接装置;由总出水管、球阀、第一内接、配管、水流量传感器接口、备用接口、第二内接、三通...
该专利属于宁夏日晶新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏日晶新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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