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本实用新型公开一种多晶炉腔体卡扣装置，包括：用于锁住多晶炉的上炉体和下炉体的卡扣；用于移动卡扣的移动部；用于控制移动部的控制部；调节所述移动部移动的调节部；其中，所述控制部控制移动部移动，实现卡扣的开关。卡扣为L型。移动部为气缸或油缸。调节...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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