下载一种大面积沉积金刚石膜的热丝架的技术资料

文档序号:8175127

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本实用新型涉及化学气相沉积金刚石膜领域,特别是热丝化学气相沉积装置中的热丝架及其制造方法。热丝架包括左钼电极(1),右钼电极(2),带凹槽销钉(3),弧形槽(4),弹簧架(5),外边条(6),若干根长度相等的灯丝(7),支持杆(8)及弹簧(...
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