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文档序号:8175122

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本实用新型为工件架,解决已有工件架安装蒸发材料不方便的问题。包括装于上顶板(1)和下底板(2)之间的若干竖向支撑轴(3)和一根旋转轴(4),旋转轴(4)有链轮(6)与工件转轴(19)上的链轮(18)传动连接,工件(5)位于工件转轴上,钨丝(...
该专利属于爱发科东方真空(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱发科东方真空(成都)有限公司授权不得商用。

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