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本实用新型公开了一种带有位移传感器的基板搬送装置，包括基座、基板支撑台、支撑板、搬送导轨、连接轴、电机，所述基板支撑台和所述搬送导轨固定于所述基座上，所述支撑板固定于所述基板支撑台上以支撑基板，所述搬送导轨为一对，分别通过连接轴相互连接以搬...
该专利属于苏州松下生产科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州松下生产科技有限公司授权不得商用。

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