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本实用新型涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种基板处理装置。该基板处理装置用于处理基板，其至少包括磨头、承载台及缓冲垫，所述磨头用于对所述基板进行抛光，所述承载台用于承载所述基板，所述缓冲垫设置于所述基板与承载台之间，用于在所述磨头对所述基板...
该专利属于深圳莱宝高科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳莱宝高科技股份有限公司授权不得商用。

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