下载超声波探头及其制造方法以及超声波诊断装置的技术资料

文档序号:8166232

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在本发明的超声波探头中,抑制衬里层和CMUT部的接合部分产生的热应力引起的CMUT部的翘曲,提高CMUT部与衬里层的粘合的耐久性。为此,具备:具有根据施加的偏置电压改变机电耦合系数或灵敏度的振动要素的CMUT部(20);与CMUT部(20)...
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