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文档序号:8166225
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公开了一种麦克风,其中由密封至基板(11)的封盖(13)形成外壳。将MEMS管芯(10)安装在基板(11)上,所述MEMS管芯(10)包含了膜片(12)。膜片(12)具有第一表面和第二表面,第一表面面对基板,并且经由声学路径(17)与封盖(...
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