下载用于微机电系统器件的半导体封装体及其制造方法的技术资料

文档序号:8165875

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提供半导体封装体及其制造方法。半导体封装体包括:具有空腔的底座(130);内插器(120),该内插器连接到该底座(130)并至少部分在该空腔上方,从而使得该内插器(120)和该底座(130)形成后室(108),该内插器(120)具有进入该后...
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