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用于微机电系统器件的半导体封装体及其制造方法技术方案
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下载用于微机电系统器件的半导体封装体及其制造方法的技术资料
文档序号:8165875
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提供半导体封装体及其制造方法。半导体封装体包括:具有空腔的底座(130);内插器(120),该内插器连接到该底座(130)并至少部分在该空腔上方,从而使得该内插器(120)和该底座(130)形成后室(108),该内插器(120)具有进入该后...
该专利属于优博创新科技产权有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过优博创新科技产权有限公司授权不得商用。
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