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一种磁控管源包括一具有溅镀面及背面的靶材(39)。以驱动方式沿着该靶材(39)的背面移动一磁铁配置(30、32、19a、19b)。在该磁铁配置的一外环路(30)与一内环路(32)之间产生一隧道状磁控管磁场。在该整体配置的外及内环路(30、3...
该专利属于OC欧瑞康巴尔斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过OC欧瑞康巴尔斯公司授权不得商用。

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