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本发明涉及一种提高蓝宝石衬底氮化镓外延层均匀性的方法，主要是采用激光在蓝宝石衬底正面或背面激光划片，划出0.1mil×0.1mil～100mil×100mil的正方形图形，然后利用光刻在正方形区域内做出圆形图形，直径2μm～3μm，制备出蓝...
该专利属于山东华光光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东华光光电子有限公司授权不得商用。

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