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本发明提供一种X射线探测器背板的制造方法及PIN光电二极管的制造方法。所述PIN光电二极管的制造方法包括：在基板上沉积N型非晶硅薄膜；在N型非晶硅薄膜上沉积本征非晶硅薄膜；采用B2H6对本征非晶硅薄膜进行离子注入，并对离子注入后的本征非晶硅...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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