下载半导体外延结构及其生长方法的技术资料

文档序号:8162456

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本发明公开了一种半导体外延结构,包括:形成于硅或者碳化硅衬底上的氮化物成核层、所述氮化物成核层上的氮化物层以及所述氮化物层内的插入层。所述插入层包括第一插入层和及位于所述第一插入层上方的第二插入层,所述第一插入层为铝镓氮层,所述第二插入层为...
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