下载惯性感测装置的技术资料

文档序号:8161292

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本发明提出一种惯性感测装置,其包含一基板、一第一惯性感测单元与一第二惯性感测单元。第一惯性感测单元,连接于基板上,并具有一容置空间,第二惯性感测单元连接于基板上,并设置于第一惯性感测单元的容置空间内,其中,第一惯性感测单元与第二惯性感测单元...
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