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惯性感测装置制造方法及图纸
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文档序号:8161292
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本发明提出一种惯性感测装置,其包含一基板、一第一惯性感测单元与一第二惯性感测单元。第一惯性感测单元,连接于基板上,并具有一容置空间,第二惯性感测单元连接于基板上,并设置于第一惯性感测单元的容置空间内,其中,第一惯性感测单元与第二惯性感测单元...
该专利属于矽创电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽创电子股份有限公司授权不得商用。
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