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本发明提供了一种外延层结深染色的校正方法，包括以下步骤：A、使用外延片晶圆制备出多份截面样品，并保证样品截面不被污染；B、将截面样品浸泡入结染色液，选取一组时间条件进行浸泡；C、把不同染色时间的截面样品放入扫描电子显微镜中进行深度测量，得出...
该专利属于上海华碧检测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华碧检测技术有限公司授权不得商用。

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