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本发明公开了一种气柜系统,尤其是一种高纯安全特气柜系统。本发明提供了一种在更换钢瓶时保证钢瓶管接头的密封连接部清洁的高纯安全特气柜系统,包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统,所述特气系统包括钢瓶和管路系统,所述管路系统包括供气管路、稀释气体...该专利属于成都爱德工程有限公司;钟廷志所有,仅供学习研究参考,未经过成都爱德工程有限公司;钟廷志授权不得商用。
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