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一种基于激光冲击波力学效应的无阀微泵及其制造方法技术
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文档序号:8159071
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本发明公开了一种基于激光冲击波力学效应的无阀微泵,该微泵包括泵体、流体入口、流体出口和牺牲层元件,其中泵体包括泵膜、泵腔以及扩张管和收缩管,所述扩张管和收缩管分别呈锥形管结构,所述牺牲层元件设置在泵腔上部泵膜处并由对激光辐射敏感的材料制成。...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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