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一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统技术方案
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下载一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统的技术资料
文档序号:8156267
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本发明提供一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统,来自流化床的含尘反应气体首先进入文丘里洗涤器进行洗涤,洗涤后的气液两相在气液分离罐中分离,气体自洗涤塔下部的气体进口进入洗涤塔,液体自洗涤塔下部的液体进口进入洗涤塔;经过洗涤净化后的气体由洗涤...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。
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