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钛酸铋钠和铌酸钾钠交替旋涂无铅压电厚膜的制备方法技术
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文档序号:8155178
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本发明公开了钛酸铋钠和铌酸钾钠交替旋涂无铅压电厚膜的制备方法,该发明是以溶胶-凝胶法为基础,提供一种简单、易控制的工艺方法,首先分别制备稳定的BNT和KNN溶胶,然后先在(Pt/TiO2/Ti/SiO2/Si)基片上镀上KNN溶胶,转速为3...
该专利属于齐齐哈尔大学所有,仅供学习研究参考,未经过齐齐哈尔大学授权不得商用。
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