下载钛酸铋钠和铌酸钾钠交替旋涂无铅压电厚膜的制备方法的技术资料

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本发明公开了钛酸铋钠和铌酸钾钠交替旋涂无铅压电厚膜的制备方法,该发明是以溶胶-凝胶法为基础,提供一种简单、易控制的工艺方法,首先分别制备稳定的BNT和KNN溶胶,然后先在(Pt/TiO2/Ti/SiO2/Si)基片上镀上KNN溶胶,转速为3...
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