下载一种显微监控型可选区原子力显微成像装置的技术资料

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本实用新型公开了一种显微监控型可选区原子力显微成像装置。采用将光学显微监控与原子力显微镜(AFM)显微成像相结合以及将AFM扫描器与二维步进微动台相结合的方法,实现AFM扫描区域的显微监控及可选区AFM成像。它具有由激光器、半透半反棱镜、微...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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