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本实用新型涉及一种高分辨率微扫描红外成像装置,包括探测器驱动装置,探测器驱动装置的输出端与探测器的输入端控制连接,探测器的输出端与微扫描镜的控制输入端相连,微扫描镜的驱动输入端连接有微扫描镜驱动装置,微扫描镜的控制输出端与数据采集装置的输入...该专利属于中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所授权不得商用。
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