下载多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测装置的技术资料

文档序号:8143061

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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测装置,该检测装置包括有:人机界面装置、PLC可编程控制器、A/D转换模块、输出模块、测温热电偶、以及报警器,其中,PLC可编程控制器分别与人机界面装置、A/D转换模块、以及输出模块相连,A/D...
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